专精特新企业优秀案例展播⑤ 江苏微导纳米科技股份有限公司：原子层沉积设备 “国产之光”

Writer： admin Time：2023-05-11 Browse：164

　　为贯彻党中央关于培育一批“专精特新”中小企业”、提升中小企业创新能力的重要指示精神，鼓励更多中小企业专注细分市场，提升创新能力，加快成长发展，无锡市工业和信息化局、无锡市中小企业发展服务中心和无锡市中小企业服务机构协会联合在“无锡工信”微信公众号开设“专精特新企业优秀案例展播”栏目，专栏将及时解读国家政策，传递前沿信息，透视无锡中小企业领先的商业模式，聚集无锡中小企业转型升级的优秀案例，充分展示优秀企业的“专精特新”的发展之路，大力弘扬无锡企业家艰苦创业精神，以提高无锡中小企业竞争力为己任，坚持为无锡中小企业服务，努力为无锡中小企业发展做出积极贡献。

　　“第一个光伏ALD设备，其实是客户主动找过来的。业内企业想尝试采用一些新的技术，应用在最先进的电池片里面，提升电池效率。”黎微明博士介绍，了解客户的需求后，微导纳米公司仅用半年时间就开发出了第一代样机，率先将ALD技术规模化应用于光伏领域。目前微导纳米与国内前十电池片厂商均建立了长期合作关系，产品还出口欧洲市场，已成为全球高效电池生产的核心设备生产商之一，在其同类产品中市场占有率稳居全球第一梯队。

　　微导纳米着力于扩大光伏领域ALD产品市场份额的同时，核心团队很多科研人员都具有半导体泛半导体行业经验，希望通过自己的专业能够为中国半导体关键装备国产化出一份力。随着半导体制造技术的不断进步，对ALD技术的需求也愈发显著，目前微导纳米已经与国内多家半导体企业展开深入合作。未来，微导纳米希望凭借丰富的技术积累，以技术创新为源动力，践行“成为世界级的微纳技术解决方案装备制造商”的企业愿景，加快突破国产芯片设备发展的最前沿。同时，也希望能够将ALD技术应用到新能源、新材料等更多战略性产业领域。

　　夸父系列批量型原子层沉积系统，采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成技术，可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量的超薄钝化膜制备，确保了电池光电转换效率的进一步提升。公司夸父、祝融、羲和等设备在同类型产品中市场占有率稳居全球第一梯队，代表了光伏行业国产创新设备的先进技术，在引领PERC、TOPCon、IBC、HJT以及叠层电池等高效电池技术的发展过程中起着重要作用。

　　iTomic系列原子层沉积镀膜系统，凭借原子级别的精确控制、高覆盖率薄膜沉积和极高的工艺均匀性等优势，可为逻辑芯片、存储芯片以及先进封装制程提供介质层等关键工艺解决方案。该设备有效填补国内空白、达到国际先进水平，已通过国内头部半导体制造企业的工艺测试和器件验证，是国产首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备。

　　放眼国内，半导体产业正蓬勃发展，家电、汽车、电力、高端装备都离不开半导体芯片。但我们也必须清醒地认识到，半导体设备领域尚属江苏、乃至全国集成电路产业链的短板，很多关键材料以及零部件都依靠进口，供应链不完善，面临高端人才稀缺的问题。前一阶段的政策支持主要面向下游的芯片制造企业，我们欣喜地看到，现阶段省市各级政府对设备等支撑企业的专项扶持力度正在一步步开展中，强链补链，政府加大了支持的速度、力度和精准度。

　　半导体设备和材料是半导体的支撑产业，微导纳米主营的薄膜沉积设备与光刻设备、刻蚀设备，并列为集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备，其中薄膜沉积设备采购金额占晶圆厂投资总额的约25-27%。据SEMI发布，2022年中国薄膜设备市场规模约41亿美元。并且随着制程节点缩小，芯片内部立体结构趋向复杂化，所需沉积的薄膜层数、薄膜种类增加，ALD设备的用量也将增加，ALD技术正成为集成电路先进制程晶圆制造的关键核心技术之一。

　　江苏微导纳米公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。2022年12月23日，微导纳米成功登陆上交所科创板，成为国内ALD设备“第一股”，也是无锡首家上市的集成电路前道工艺装备企业，填补了无锡集成电路装备企业上市的空缺，助力无锡形成了集成电路设计、晶圆制造、封测、材料、装备全产业链上市板块。目前，公司最新市值约为160亿元。

　　微导纳米通过多年的自主创新，不断提高设备的技术水平和产品的竞争力，拓展并深化核心技术应用，不断打造高端装备制造商的优质品牌，推动高端技术装备的国产化、产业化。公司业务涵盖半导体、光伏、柔性电子等领域。主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D封装等半导体及泛半导体ALD设备和技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。

　　上市后，微导纳米募投项目的实施，将有助于公司进一步扩大产能，搭建集成电路高端装备的研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目、新企业发展的孵化器，也期待通过专委会与更多专精特新企业深化合作与交流。

　　微导纳米一方面可为“专精特新”联盟企业提供行业对接渠道，分享业内最新的动态及产业化经验，也希望通过上下游产业链的协同，进一步加强金融支持与人才引进方面的资源整合。

　　另一方面，半导体设备企业面临一个共性痛点：由于半导体设备需要控制和测量纳米级别的微尘、膜厚及质量、金属污染等，此类检测设备极其昂贵，如微导纳米购买的KLA SP3、KLA F1等，单台设备成本高达3000万元，一般企业是无法承受的。而国内缺乏集成电路制造领域对于国产装备、材料和零部件产出晶圆表现的专门检测机构，使得企业的产品在后期进入晶圆厂时检测问题较多。建议由政府牵头，与企业共建共享集成电路实验室平台，微导纳米也愿意为有需求的集成电路企业提供专业测试服务。

　　江苏微导纳米科技股份有限公司（简称“微导纳米”）成立于2015年12 月，是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域 ；主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D封装等半导体及泛半导体ALD设备和技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。

　　公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时，公司与上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学等知名院校建立了良好的合作关系，共同推进 ALD技术的创新发展。

　　2022年12月23日，微导成功登陆上交所科创板，成为国内ALD设备“第一股”，也是无锡首家上市的集成电路前道工艺装备企业，填补了无锡集成电路装备企业上市的空缺，助力江苏省形成了集成电路设计、晶圆制造、封测、材料、装备全产业链上市板块。